CVD-Reaktor mit absenkbarer Prozesskammerdecke

WP 50 2007 009 578.8 – C23C 16/44. AT 17.04.2007; OT 01.11.2007; PT 28.03.2012. Anm.: AIXTRON SE, 52134 Herzogenrath, DE. Erf.: Schulte, Bernd, 52066 Aachen, DE, Käppeler, Johannes, 52146 Würselen, DE, Dauelsberg, Martin, 52074 Aachen, DE.