Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung unter Verwendung eines Atmosphärendruck-Plasmas

WP 60 2012 026 367.9 - C23C 14/22. AT 01.10.2012; OT 23.05.2013; PT 07.12.2016. Anm.: The Boeing Company, Chicago, Ill., US. Erf.: Matos, Marvi A., Seattle, Washington 98115, US Pingree, Liam S., Seattle, Washington 98107, US

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