Verfahren zur Metallisierung eines Substrats

EP 50 2013 002 624.8 - C23C 16/30. AT 19.02.2013; OT 28.08.2013; PT 20.04.2016. Anm.: Innovent e.V., 07745 Jena, DE. Erf.: Pfuch, Andreas, 99510 Apolda, DE Schmidt, Jürgen, 07745 Jena, DE Horn, Kerstin, 07749 Jena, DE Beier, Oliver, 07407 Rudolstadt, DE Ramm, Max, 07768 Kahla, DE