Verbundwerkstoff, Herstellungsverfahren dafür und Vorrichtung zu seiner Herstellung

WP 60 2009 016 003.6 – C23C 18/31. AT 02.03.2009; OT 27.01.2011; PT 29.05.2013. Anm.: Japan Science and Technology Agency, Kawaguchi-shi, JP. Erf.: Hirano, Tatsuya, Himeji-shi Hyogo 671-2201, JP, Matsuda, Hitoshi, Himeji-shi Hyogo 671-2201, JP, Yae, Shinji, Himeji-shi Hyogo 671-2201, JP.

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