Verfahren zum Beschichten eines Substrats

WP 50 2008 012 224.9 – C23C 16/40. AT 28.05.2008; OT 04.12.2008; PT 17.09.2014. Anm.: Innovent e.V., 07745 Jena, DE. Erf.: Schimanski, Arnd, 44329 Dortmund, DE, Pfuch, Andreas, 99510 Apolda, DE, Heft, Andreas, 07545 Gera, DE, Grünler, Bernd, 07937 Zeulenroda, DE, Polster, Martin, 07952 Pausa, DE.