Inline-Beschichtungsanlage

WP 50 2010 011 537.4 - C23C 16/517. AT 20.12.2010; OT 07.07.2011; PT 20.04.2016. Anm.: Meyer Burger (Germany) AG, 09337 Hohenstein-Ernstthal, DE. Erf.: Mai, Joachim, 04603 Nobitz, DE Schlemm, Hermann, 07743 Jena, DE Grosse, Thomas, 08371 Glauchau, DE Decker, Daniel, 09427 Ehrenfriedersdorf, DE Grimm, Michael, 09116 Chemnitz, DE