Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von stark ionisierten Plasmen mit Ionisierungsinstabilitäten

WP 60 2005 036 795.0 – C23C 14/35. AT 17.02.2005; OT 09.09.2005; PT 31.10.2012. Anm. Zond, Inc., Mansfield, US. Erf. Chistyakov, Roman, Mansfield, MA 02048, US.

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