Verfahren zur Herstellung dielektrischer Barriereschichten

WP 60 2004 040 288.5 – C23C 14/34. AT 26.02.2004; OT 29.12.2005; PT 05.12.2012. Anm.: Symmorphix, Inc., Sunnyvale, US. Erf.: Narasimhan, Mukundan, San Jose, CA 91536, US, Brooks, Peter, Los Altos, CA 94024, US, Demaray, Richard E., Portola Valley, CA 94028, US.

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