Beschichtungsverfahren mit hafniumhaltigen Verbindungen

WP 60 2010 032 674.8 - C23C 16/18. AT 05.11.2010; OT 12.05.2011; PT 20.04.2016. Anm.: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Paris, FR. Erf.: Dussarat, Christian, WilmingtonDE 19808, US Omarjee, Vincent M., BearDE 19701, US Pallem, Venkateswara, BearDE 19701, US