Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Metallschichten

EP 603 40 767.6 – C23C 16/08. AT 04.03.2003; OT 09.03.2005; PT 25.04.2012. Anm.: Canon Anelva Corp., Kawasaki, JP. Erf.: Koshiro, Ikumasa c/o Mitsubishi Heavy Ind. Ltd, 2-chomeTakasago-shi Hyogo, JP, Tonegawa, Hiroshi c/o Mitsubishi Heavy Ind. Ltd, Kanazawa-ku Yokohama-shi Kanagawa, JP, Ogura, Yuzuru c7o Mitsubishi Heavy Industries Ltd., Kanazawa-ku Yokohama-shi Kanagawa, JP, Sakamoto, Hitoshi c/o Mitsubishi Heavy Ind. Ltd, Kanazawa-ku Yokohama-shi Kanagawa, JP, Nishimori, Toshihiko c/o Mitsubishi Heavy Ind. Ltd, 2-chome Takasago-shi Hyogo, JP, Yahata, Naoki c/o Mitsubishi Heavy Industries Ltd., 2-chome Takasago-shi Hyogo, JP, Ooba, Yoshiyuki c/o Mitsubishi Heavy Industries Ltd, Kanazawa-ku Yokohama-shi Kanagawa, JP.