Substrathalter für scheiben-oder plattenförmige Substrate und Vakuumbehandlungsanlage mit einer vertikalen Substrattransporteinrichtung
Beschreibung: Es wird ein Substrathalter für scheiben- oder plattenförmige Substrate vorgeschlagen, der eine Grundstruktur mit mindestens einer Substrataufnahme umfasst, die Aufnahmemittel für mindestens ein Substrat aufweist, und der weiterhin ein unteres Führungselement und ein oberes Führungselement umfasst, wobei an der Grundstruktur mindestens ein Blendenelement so angeordnet ist, dass es ein Führungselement vollständig bedeckt. Bei einer Vakuumbehandlungsanlage mit mindestens einer Behandlungseinrichtung und mit einer vertikalen Substrattransporteinrichtung für scheiben- oder plattenförmige Substrate, die einen Substrathalter der oben beschriebenen Art, eine Stützeinrichtung zur Stützung des unteren Führungselements des Substrathalters und eine Führungseinrichtung zur Führung des oberen Führungselements des Substrathalters, ist das Blendenelement des Substrathalters so angeordnet, dass es die Stützeinrichtung oder die Führungseinrichtung von der Behandlungseinrichtung aus gesehen zumindest teilweise bedeckt.
PS 10 2009 038 369.7 – C23C 14/50. AT 24.08.2009; OT 03.03.2011; PT 24.05.2012. Anm.: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Michael Huhn, 01187 Dresden, DE, Erwin Zschieschang, 01324 Dresden, DE, Hubertus von der Waydbrink, 01326 Dresden, DE, Stanley Rehn, 01326 Dresden, DE, Holger, Dr. Pröhl, 01324 Dresden, DE, Harald, Dr. Hagenström, 01279 Dresden, DE.