Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung glatter Diamantschichten
WP 11 2004 000 452.7 - C23C 16/27. AT 22.03.2004; OT 30.09.2004; PT 19.11.2015. Anm.: CemeCon AG, 52146 Würselen, DE. Erf.: Breidt, Dirk, 41812 Erkelenz, DE Frank, Martin, 52064 Aachen, DE Lemmer, Oliver, 52066 Aachen, DE