System und Verfahren zur Ablagerung eines Materials auf einem Substrat

WP 60 2007 044 109.9 - C23C 16/44. AT 23.05.2007; OT 03.01.2008; PT 02.12.2015. Anm.: First Solar, Inc., Perrysburg, Ohio, US. Erf.: Maltby, Michael, G., Wayne, OH 43466, US