Verfahren zum elektronenstrahlinduzierten Abscheiden von leitfähigem Material

Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum elektronenstrahlinduzierten Abscheiden von elektrisch leitfähigen Material aus einem Metallcarbonyl mit den Verfahrensschritten des Bereitstellens zumindest eines Elektronenstrahls an einer Stelle eines Substrats, des Aufbewahrens des zumindest einen Metallcarbonyls bei einer ersten Temperatur, und des Erwärmens des zumindest einen Metallcarbonyls auf zumindest eine zweite Temperatur vor dem Bereitstellen an der Stelle, an der der zumindest eine Elektronenstrahl auf das Substrat auftrifft.

PS 10 2008 037 944.1 – C23C 16/452. AT 14.08.2008, OT 18.02.2010; PT 21.03.2013. Anm.: Carl Zeiss SMS GmbH, 07745 Jena, DE. Erf.: Auth, Nicole, 65462 Ginsheim-Gustavsburg, DE, Spies, Petra, 55130 Mainz, DE, Becker, Rainer, 64319 Pfungstadt, DE, Hofmann, Thorsten, 63110 Rodgau, DE, Edinger, Klaus, 64646 Heppenheim, DE.

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