Verfahren zur Beschichtung von Gegenständen mittels eines Niederdruckplasmas

PS 10 2008 064 134.0 - C23C 16/452. AT 19.12.2008; OT 01.07.2010; PT 21.07.2016. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Jung, Thomas, Dr., 38173 Sickte, DE