Synthese und Verwendung von Vorläufern für Atomlagenabscheidung von Tellur- und Selendünnschichten

WP 60 2009 029 339.7 – C23C 16/44. AT 23.04.2009; OT 29.10.2009; PT 11.02.2015. Anm.: ASM International N.V, Almere, NL. Erf.: Ritala, Mikko, 02200 Espoo, FI, Leskela, Markku, 02130 Espoo, FI, Pore, Viljami, 00790 Helsinki, FI, Hatanpää, Timo, 02210 Espoo, FI