Verfahren und Anordnung zur Abscheidung einer Metallbeschichtung

WP 60 2011 015 486.9 – C23C 18/16. AT 06.07.2011; OT 12.01.2012; PT 08.04.2015. Anm.: Atotech Deutschland GmbH, 10553 Berlin, DE. Erf.: Schachtner, Bernhard, 14482 Potsdam, DE, Skupin, Andreas, 90469 Nürnberg, DE, Lowinski, Christian, 16547 Birkenwerder, DE, Bruckner, Helmut, 53783 Eitorf, DE.