Herstellung einer Schutzschicht durch Partikel niedriger Energie

WP 60 2009 030 197.7 – C23C 14/10. AT 18.11.2009; OT 24.06.2010; PT 25.03.2015. Anm.: Merck Patent GmbH, 64293 Darmstadt, DE. Erf.: Telesh, Eugene, Minsk, 220113, BY, Coelle, Michael, 45721 Haltern am See, DE, Yaroshchuk, Oleg, Kiev 03110, UA, Sparrowe, David, Bournemouth BH6 3BB, GB, Parri, Owain, Llyr, Hampshire BH24 3AN, GB.