Substratstruktur und zugehöriges Herstellungsverfahren

EP 60 2008 041 643.7 - C23C 14/02. AT 08.09.2008; OT 14.10.2009; PT 23.12.2015. Anm.: Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon-si, Gyeonggi-do, KR. Erf.: Baik, Chan Wook, 443-742 Gyeonggi-do, KR Kim, Jong Seok, 443-742 Gyeonggi-do, KR Kim, Sun Il, 443-742 Gyeonggi-do, KR Son, Young Mok, 443-742 Gyeonggi-do, KR.