Verfahren zum Beschichten eines Substrates in einer Vakuumbeschichtungskammer und Vakuumbeschichtungsanlage zur Durchführung des Verfahrens
Beschreibung: Der Erfindung, die ein Verfahren und eine Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten eines Substrats betrifft, wobei das Substrat vor oder in einer ersten Kammer auf einen Substrathalter gegeben wird, wobei das Substrat mit der Transporteinrichtung von einer ersten Kammer in eine zweite Kammer, die als Beschichtungskammer ausgeführt und durch ein Vakuumventil von der ersten Kammer getrennt ist, transportiert und vor der Beschichtung mittels einer Heizeinrichtung vorgeheizt wird, liegt die Aufgabe zugrunde, eine große Längenausdehnung des Anlagenaufbaus zu verringern und eine Ausführung von Reparaturen der Anlage bei laufendem Bedampfungsprozess zu verbessern. Dies wird dadurch erreicht, dass das Vorheizen nach dem Schließen des ersten Vakuumventils in situ in der ersten Kammer erfolgt.
PS 10 2006 008 975.8 – C23C 14/22. AT 23.02.2006; 06.09.2007; PT 19.04.2012. Anm.: VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Bernd-Dieter Wenzel, 01909 Großharthau-Bühlau, DE.