Vakuum-Beschichtungsanlage und Verfahren zum Beschichten einer Folie mit einer solchen Vakuum-Beschichtungsanlage
Beschreibung: Eine Vakuum-Beschichtungsanlage zum Beschichten einer Folie hat in einem Vakuumkessel eine Beschichtungskammer und eine Wickelkammer. In der Wickelkammer ist an der Auslaufseite einer Beschichtungswalze, über welche die Folie geführt ist, eine über die Breite der Folie reichende Gaslanze zum Zuführen eines Kühlgasstromes gegen die Folie angeordnet.
PS 198 53 418.3 – C23C 14/56. AT 19.11.1998; OT 25.05.2000; PT 26.09.2013. Anm.: Applied Materials GmbH & Co. KG, 63755 Alzenau, DE. Erf.: Klemm, Günter, 63667 Nidda, DE, Oberle, Klaus, 63768 Hösbach, DE, Achtner, Wolfgang, 63477 Maintal, DE.