Schutz einer Maskenabschirmung mit Kantenausschluss

WP 60 2011 013 358.6 – C23C 14/04. AT 25.08.2011; OT 28.02.2013; PT 21.01.2015. Anm.: Applied Materials, Inc., Santa Clara, Calif., US. Erf.: Zengel, Claus, 63785 Obernburg, DE, Hansen, Hauke, 63776 Mömbris, DE, Wurster, Harald, 63776 Mömbris, DE, Lindenberg, Ralph, 63654 Büdingen-Rinderbügen, DE.