Verfahren zur Herstellung von dünnen Filmen durch Atomlagenabscheidung unter Verwendung von Monocyclopentadnieyltriaminozirconium-Vorläufern

WP 60 2008 022 918.1 – C23C 16/455. AT 10.09.2008; OT 15.07.2010; PT 13.03.2013. Anm.: Sigma-Aldrich Co. LLC, St. Louis, US. Erf.: Odedra, Rajesh, Altrincham, Cheshire WA14 5NU, GB, Williams, Paul, Wirral, Merseyside CH62 2AY, GB, Leese, Thomas, Alsager, Stoke-On-Trent ST7 2HD, GB, Heys, Peter, Nicholas, Crewe, Cheshire CW2 6QE, GB, Song, Fuquan, Eastham, Wirral CH62 8EX, GB, Kingsley, Andrew, Newton, Chester CH2 2FA, GB, Davies, Hywel, Owen, Mold, Flintshire CH7 1PW, GB.