Substrat aus einem polymeren Werkstoff und mit einer wasser- und sauerstoff- undurchlässigen Barrierebeschichtung sowie dazugehöriges Herstellungsverfahren
Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Substrat aus einem polymeren Werkstoff und mit einer H2O- und O2-undurchlässigen Barrierebeschichtung sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Substrats. Das Substrat zeichnet sich dadurch aus, dass die Barrierebeschichtung aus einer alternierenden Abfolge C- und Si-haltiger Schichten besteht.
PS 10 2007 031 416.9 – C23C 16/505. AT 03.07.2007; OT 10.01.2008; PT 17.01.2013. Anm.: Sentech Instruments GmbH, 12489 Berlin, DE. Erf.: Wandel, Klaus, Prof. Dr., 13187 Berlin, DEArens, Michael, Dr., 12103 Berlin, DEWolf, Rainer, Dr., 12555 Berlin, DE.