Verfahren und Anordnung zur Gasführung in Magnetron-Vakuumbeschichtungsanlagen

PS 10 2011 076 267.1 – C23C 14/35. AT 23.05.2011; OT 20.09.2012; PT 20.09.2012. Anm.: VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Volker, Dr. Linß, 01324 Dresden, DE.

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