Verfahren zum Reinigen eines Werkstückes mit Halogenionen
WP 50 2005 012 701.3 – C23G 5/00. AT 29.11.2005; OT 15.06.2006; PT 02.05.2012. Anm.: Siemens Aktiengesellschaft, 80333 München, DE. Erf.: Ullrich, Raymond, 14621 Schönwalde, DE, Schiewe, Heike, 12167 Berlin, DE, Krüger, Ursus, 14089 Berlin, DE, Pyritz, Uwe, 13599 Berlin, DE.