Verfahren und Systeme zur Steuerung eines Oberflächenveränderungsprozesses

WP 60 2010 014 625.1 – C23C 16/52. AT 20.01.2010; OT 29.07.2010; PT 26.03.2014. Anm.: Atanasoff, George, Washington, US. Erf.: Atanasoff, George, Washington, DC 20015, US.