Maskierungsmechanismus FR Filmbildungsvorrichtung

WP 603 41 113.4 – C23C 14/04. AT 19.09.2003; OT 01.04.2004; PT 30.05.2012. Anm.: Japan Science and Technology Agency, Kawaguchi, JP. Erf.: Takahashi, Ryota, Setagaya-ku, Tokyo 158-0095, JP, Matsumoto, Yuji, Yokohama-shi, Kanagawa 227-0063, JP, Koinuma, Hideomi, Suginami-ku, Tokyo 167-0051, JP, Yamamoto, Yukio, Yokohama-shi, Kanagawa 221-0811, JP.