Verfahren zur Bildung eines dünnen Metallfilms und dünner Metallfilm

WP 60 2005 036 332.7 – C23C 24/08. AT 15.12.2005; OT 29.06.2006; PT 26.09.2012. Anm.: Ulvac, Inc., Chigasaki-shi, JP; Jemco Inc., Akita, JP. Erf.: Atsuki, Tsutomu, Chiba 2891226, JP, Tei, Kyuukou, Chiba 2891226, JP, Oda, Masaaki, Chiba 2891226, JP.