Verfahren und System zur Ablagerung mehrere Materialien auf einem Substrat

EP 60 2010 020 666.1 – C23C 14/24. AT 25.10.2010; OT 11.05.2011; PT 03.12.2014. Anm.: First Solar Malaysia SDN.BHD, AMAN, MY. Erf.: Deluca, John Anthony, Niskayuna, NY 12309, US, Lemmon, John Patrick, Kennewick, WA 99338, US, Ahmad, Faisal Razi, Niskayuna, NY 12309, US, Korevaar, Bastiaan Arie, Niskayuna, NY 12309, US, Johnson, James Neil, Niskayna, NY 12309, US, Xi, Yangang Andrew, Niskayuna, NY 12309, US.