Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Stöchiometriegradientenschichten

Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Beschichten von Substraten mit einem Stöchiometriegradienten in einer Durchlauf-Beschichtungsanlage, wobei mindestens zwei Verdampfungseinrichtungen mit jeweils einem Verdampferrohr vorgesehen sind. Erfindungsgemäß sind die beiden Verdampferrohre unabhängig voneinander kippbar ausgeführt, wodurch der Übergangsbereich der beiden Dampfkeulen den Erfordernissen des Gradientenprofils angepasst werden kann. Weiterhin kann der Abstand der Verdampferrohre zum Substrat und untereinander eingestellt werden.

PS 10 2009 038 519.3 – C23C 14/56. AT 25.08.2009; OT 03.03.2011; PT 31.05.2012. Anm.: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Harald, Dr. Gross, 01465 Langebrück, DE, Carsten Deus, 01309 Dresden, DE.