Ionenplattierungsverfahren und Vorrichtung

EP 60 2004 040 844.1 – C23C 14/32. AT 05.08.2004, OT 17.03.2005; PT 23.01.2013. Anm.: United Technologies Corp., Hartford, US. Erf.: Kuzmichev, Anatoly I., 02192 Kiev, UA, Belousov, Igor V., Kiev, UA, Memmen, Robert L., Cheshire CT 06410, US.