Verdampfungsvorrichtung mit geneigtem Tiegel
EP 60 2007 025 234.2 – C23C 14/56. AT 27.07.2007; OT 04.02.2009; PT 05.09.2012. Anm.: Applied Materials, Inc., Santa Clara, US. Erf.: Buschbeck, Wolfgang, 63454 Hanau, DE, Keller, Stefan, 63814 Mainaschaff, DE, Bangert, Stefan, 36396 Steinau, DE, König, Michael, 60529 Frankfurt am Main, DE.