Gegenüber Wasser reaktiver Al-Verbundwerkstoff, gegenüber Wasser reaktiver Al-Film, Verfahren zur Herstellung des Al-Films und Bauelement für Filmabscheidungskammer

WP 60 2009 027 572.0 – C23C 14/00. AT 27.04.2009; OT 05.11.2009; PT 05.11.2014. Anm.: Ulvac, Inc., Chigasaki-shi, Kanagawa, JP. Erf.: Kadowaki Yutaka, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP, Saitou Tomoko, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP, Lim Keng Weng, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP, Mushiake Katsuhiko, Sammu-shi Chiba 289-1297, JP.