Verfahren zur Abscheidung von Mehrlagenschichten und/oder Gradientenschichten

PS 10 2010 000 002.7 – C23C 16/52. AT 04.01.2010; OT 07.07.2011; PT 21.02.2013. Anm.: Roth & Rau AG, 09337 Hohenstein-Ernstthal, DE. Erf.: Mai, Joachim, 04603 Nobitz, DE, Große, Thomas, 08371 Glauchau, DE, Decker, Daniel, 09427 Ehrenfriedersdorf, DE, Schlemm, Hermann, Dr., 07743 Jena, DE, Sperlich, Hans-Peter, 01309 Dresden, DE, Grimm, Michael, Dr., 09116 Chemnitz, DE.