CVD-Filmherstellungsvorrichtung vom Rotationstyp für die Massenproduktion und Verfahren zur Herstellung von CVD-Film auf der Oberfläche in einem Kunststoffbehälter

WP 603 40 082.5 – C23C 16/26. AT 19.06.2003; OT 31.12.2003; PT 22.02.2012. Anm.: Mitsubishi Shoji Plastics Corp., Tokio/Tokyo, JP; Youtec Co. Ltd., Nagareyama, JP. Erf.: Kage, Tsuyoshi,c/o Mitsubishi Shoji Plastics Corporation, Tokyo 100-0005, JP, Hama, Kenichi, c/o Mitsubishi Shoji Plastics Corporation, Tokyo 100-0005, JP, Kobayashi, Takumi, C/O Youtec CO., LTD, Nagareyama-shi, Chiba 270-0156, JP, Kawabe, Takeharu, C/O Youtec CO., LTD, Nagareyama-shi, Chiba 270-0156, JP.