Verfahren zur Erzeugung einer farbigen Überzugsschicht mittels Kathodenstrahlzerstäuben

EP 50 2010 001 547.7 – C23C 14/00. AT 17.08.2010; OT 22.02.2012; PT 31.10.2012. Anm.: Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung GmbH, 21502 Geesthacht, DE. Erf.: Kainer, Karl-Ulrich, 21522, Hohnstorf, DE, Störmer, Michael, 21031, Hamburg, DE, Hort, Norbert, 21339, Lüneburg, DE.