Mit mehreren Elementen dotierte Zinkoxidschicht, Herstellungsverfahren und Anwendung

WP 60 2011 019 049.0 - C23C 14/08. AT 25.03.2011; OT 04.10.2012; PT 19.08.2015. Anm.: Ocean's King Lighting Science&Technology Co., Ltd., Shenzhen, Guangdong, CN. Erf.: Zhou, Mingjie, ShenzhenGuangdong 518054, CN; Wang, Ping, Shenzhen Guangdong 518054, CN; Chen, Jixing, Shenzhen Guangdong 518054, CN; Huang, Hui, Shenzhen Guangdong 518054, CN.