Verfahren zur Herstellung einer transparenten leitfähigen Schicht
Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats mit einer transparenten leitfähigen Schicht. Die Beschichtung erfolgt in einem Durchlaufprozess, indem das Substrat, das während des Beschichtungsprozesses eine Substrattemperatur im Bereich von Raumtemperatur bis 90°C aufweist, in einer Beschichtungskammer an einer Beschichtungsquelle mit einem Target des abzuscheidenden dotierten Metalloxids vorbeibewegt und die aufgebrachte Schicht nachfolgend getempert wird.
PS 10 2008 009 337.8 – C23C 14/34. AT 14.02.2008; OT 20.08.2009; PT 18.09.2014. Anm.: VON ARDENNE GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Dimer, Martin, Dr., 01309 Dresden, DE, Knoth, Thomas, 01309 Dresden, DE, Linß, Volker, Dr., 01324 Dresden, DE.