Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken

WP 503 15 099.1 – C23C 16/455. AT 09.05.2003; OT 04.12.2003; PT 06.08.2014. Anm.: KHS Corpoplast GmbH, 22145 Hamburg, DE. Erf.: Litzenberg, Michael, 21502 Geesthacht, DE, Bicker, Matthias, 55126 Mainz, DE, Behle, Stephan, 55239 Gau Odernheim, DE, Müller, Hartwig, 22952 Lütjensee, DE, Vogel, Klaus, 22885 Barsbüttel, DE, Klein, Jürgen, 55127 Mainz, DE, Lewin, Frank, 22880 Tangstedt, DE, Lüttringhaus-Henkel, Andreas, 64289 Darmstadt, DE, Arnold, Gregor, 55294 Bodenheim, DE.

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