Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten nach dem Eb/PVD-Verfahren
WP 50 2011 004 077.6 – C23C 14/24. AT 20.04.2011; OT 06.03.2013; PT 13.08.2014. Anm.: ALD Vacuum Technologies GmbH, 63450 Hanau, DE. Erf.: Schwagmann, Johannes, D-63607 Wächtersbach, DE, Hotz, Jürgen, D-64839 Münster, DE, Wittich, Jörg, D-64853 Otzberg, DE, Lemke, Jürgen, D-69469 Weinheim, DE, Schuhmann, Gerhard, D-63829 Krombach, DE, Seserko, Pavel, D-63791 Karlstein, DE.