Herstellungsverfahren für hoch geordnete Arrays von Nanolöchern in Metallfilmen

WP 60 2009 031 124.7 - C23C 14/04. AT 05.03.2009; OT 10.09.2010; PT 06.05.2015. Anm.: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 80539 München, DE. Erf.: Pacholski, Claudia, 14469 Potsdam, DE; Quint, Stefan, 81369 München, DE.