Verfahren zur Herstellung von nanoskaligen elektrisch leitfähigen Mehrschichtsystemen

Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von nanoskaligen elektrisch leitfähigen Mehrschichtsystemen auf Oberflächen, wobei die beschichteten Oberflächen insbesondere zum Wärme- oder Sonnenschutz bzw. in Heizelementen zur Anwendung kommen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Möglichkeit anzugeben, welches die genannten Nachteile der etablierten Verfahren zur Abscheidung von elektrisch leitenden Schichten überwindet. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Verfahren zum Beschichten von Substraten mit einem elektrisch leitenden Schichtsystem dadurch gelöst, dass mindestens eine elektrisch leitende Schicht durch ein Flammenpyrolyse-Verfahren aufgebracht wird.

PS 10 2008 025 108.9 – C23C 28/00. AT 23.05.2008; OT 26.11.2009; PT 23.02.2012. Anm.: Verein zur Förderung von Innovationen durch Forschung, Entwicklung und Technologietransfer e.V. (Verein INNOVENT e.V.), 07745 Jena, DE. Erf.: Andreas, Dr. Heft, 07545 Gera, DE, Thomas Struppert, 07747 Jena, DE, Bernd, Dr. Grünler, 07937 Zeulenroda, DE, Andreas, Dr. Pfuch, 99510 Apolda, DE, Alexander Jacob, 08132 Mülsen, DE, Heinrich, Prof. Dr. Lang, 09125 Chemnitz, DE.