Verfahren zum Abscheiden von organometallischen Verbindungen

EP 60 2010 038 577.9 - C23C 16/16. AT 10.09.2010; OT 29.06.2011; PT 07.12.2016. Anm.: Rohm and Haas Electronic Materials, LLC, Marlborough, Mass., US. Erf.: Wang, Qing Min, North Andover, MA 01845-1320, US Shenai-Khatkhate, Deodatta Vinayak, Danvers, MA 01923, US Li, Huazhi, Somerville, MA 02143, US