Verfahren zur Bildung einer harten Beschichtung und Vorrichtung zu seiner Durchführung

PS 199 64 388.1 – C23C 26/00. AT 13.05.1999; OT 03.08.2000; PT 20.03.2014. Anm.: Mitsubishi Denki K.K., Tokyo, JP; Erf.: Moro, Toshio, Tokio/Tokyo, JP, Goto, Akihiro, Tokio/Tokyo, JP.