Verfahren und Vorrichtung zur Atomschichtabscheidung

WP 60 2004 044 139.2 – C23C 16/455. AT 01.03.2004; OT 30.09.2004; PT 01.01.2014. Anm.: Genus, Inc., Sunnyvale, US. Erf.: Liu, Xinye, Sunnyvale, California 94087, US, Seidel, Thomas, E., Sunnyvale, CA 94087, US, Ramanathan, Sasangan, San Ramon, CA 94583, US, Lee, Edward, Cupertino CA 95014, US, Doering, Ken, San Jose, CA 95138, US.