Verfahren zum Abscheiden einer Nanokomposit-Schicht auf einem Substrat mittels chemischer Dampfabscheidung

EP 50 2009 006 338.5 – C23C 16/30. AT 21.10.2009; OT 01.07.2010; PT 27.02.2013. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Fahland, Matthias, 01259 Dresden, DE, Schiller, Nicolas, 01833 Stolpen OT Helmsdorf, DE, Vogt, Tobias, 02796 Kurort Jonsdorf, DE, Günther, Steffen, 01309 Dresden, DE.

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