Herstellungsverfahren für einen transparenten leitfähigen Kohlenstofffilm

WP 60 2011 010 144.7 – C23C 16/26. AT 17.03.2011; OT 22.09.2011; PT 24.09.2014. Anm.: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tokyo, JP. Erf.: Tsugawa Kazuo, Tsukuba-shi Ibaraki3058565, JP, Hasegawa Masataka, Tsukuba-shi Ibaraki 305-8565, JP, Yamada Takatoshi, Tsukuba-shi Ibaraki 305-8565, JP, Ishihara Masatou, Tsukuba-shi Ibaraki 305-8565, JP, Iijima Sumio, Tsukuba-shi Ibaraki 305-8565, JP, Koga Yoshinori, Tsukuba-shi Ibaraki 305-8565, JP, Kim Jaeho, Tsukuba-shi Ibaraki 305-8565, JP.