CVD-Beschichtungsverfahren
EP 50 2009 008 638.5 – C23C 16/40. AT 09.10.2009; OT 14.04.2010; PT 08.01.2014. Anm.: Behr GmbH & Co. KG, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Conrad, Nadine, 70469 Stuttgart, DE, Schaper, Jörg, 70806, Kornwestheim, DE, Holler, Sebastian, 70825 Korntal-Münchingen, DE, Holzmann, Frank, 71732 Tamm, DE.