Verfahren zur Bildung eines Aluminiumoxidbeschichtungsfilms, Aluminiumoxidfaser und Gasbehandlungssystem, umfassend die Aluminiumoxidfaser

WP 60 2006 034 254.3 – C23C 8/12. AT 30.06.2006; OT 15.05.2008; PT 16.01.2013. Anm.: Jastex, Inc., Fujisawa-shi, JP; K2R Co., Ltd., Kitakyushu-shi, JP. Erf.: Tanaka, Kenichiro, Kitakyushu-shi, Fukuoka 8070871, JP, Tanaka, Licca, Kitakyushu-shi, Fukuoka 8070871, JP, Harada, Tsutomu, 2510016, JP